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上海瓷熙仪器仪表有限公司
主营：微小椭圆齿轮流量计,小流量液体流量计,喷油嘴试验台微小流量计,聚氨酯发泡机小流量流量计,微小液体流量计
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主营：微小椭圆齿轮流量计,小流量液体流量计,喷油嘴试验台微小流量计,聚氨酯发泡机小流量流量计,微小液体流量计
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Dmass质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
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1 |
量程范围 |
（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM |
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2 |
准确度 |
+1.0%F.S |
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3 |
线性 |
+0.5~1.5%F.S |
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4 |
重复精度 |
+0.2%F.S |
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5 |
响应时间 |
电特性：10sec 气特性：（1~4）sec |
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6 |
工作压差 |
（0.1~0.5）MPa |
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7 |
耐压 |
3MPa |
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8 |
工作环境温度 |
0~70℃ |
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9 |
数字量 |
RS485 MODBUS协议 |
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10 |
模拟量 |
DC 0~5V ，4~20mA 可选 |
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11 |
供电 |
DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA |
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12 |
电气连接 |
DB15 |
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13 |
漏率 |
1×10--8SCCSHe |
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14 |
底座材质 |
316L不锈钢 |
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15 |
密封材质 |
氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 |
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16 |
气路接头 |
Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |